真空烧结炉升降温度的调节

对于真空烧结炉的温度调节点，很多人都比较关注运行实际的峰值温度。烧结炉一个最佳温度范围，太高的话算为过烧，过低的话算是欠烧。这两种情况都不是最佳的烧结效果。把握好温度的控制是找到最佳烧结温度范围的关键点。如何判断是欠烧还是过烧？请参考烧结炉上的电性能参数，可以通过它来判断。

欠烧时，穿透氮化硅的银浆留有残余，那么进入N型层的银浆也比较少，欧姆接触效果不好，会造成串联的电阻较大。过烧时，银的消耗量会较平时多一些，而且会形成有银硅形成的混合层，这个混合层会起到阻碍的作用，同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。

当无法判断烧结的状态时可以调节8区的温度，找到大概的调节点，然后缓慢进行微调。微调的时候我们可以通过背场的状态来判断，如果背场微微鼓起，那么就是出于过烧，所以应微调降低温度。