碳化硅真空烧结炉故障诊断系统

我厂的碳化硅真空烧结炉采用先进的控制系统，通过各种结构中的装置来检测故障问题，下面为大家介绍下碳化硅真空烧结炉故障诊断系统。

高品质的产品需要有高度安全的系统保障。我厂设备不仅性能卓越，而且系统保护措施极为严密周到，设备具有以PLC（可编程控制器）为中心的全方位保护系统。电源设有过流、过压、截流、截压、短路、缺相、过热等保护措施；主机柜、电容柜、感应器、炉壳、及所有真空泵的冷却水均设欠水保护措施，在总进水处还设有水压超高保护；炉内用气、真空阀用气均设有气体欠压、超高保护；在测温控温方面，设有低温度及传感器开路保护等等。一旦出现故障，系统会做出判断，根据情况给出报警或切断电源，大多数情况操作者可按系统提示信息迅速找到并排除故障，不会影响连续的加热工艺。

在操作和顺序控制方面设置了许多连锁保护，如炉体的转换的时候必须同时把测温系统做相应的转换；真空泵的启、停，真空阀的切换必须按规定动作，否则无法接通加热电源；炉门、主机柜门未关好同样不能接通加热电源等等。