真空炉的组成结构
本文中的真空炉是执行某种物理操作的直接场所,在装置运行期问必须为该物理过程提供一个可靠的高真空的环境,该装置的结构设计和加工工艺都较为复杂,不仅要满足物理设计要求,而且还要达到工程上的可行,结构设计是否合理不仅直接影响到装置的安全、可靠性,而且也直接关系到物理操作过程的性能参数,因此在进行结构设计时首先必须考虑物理和工程要求,同时兼顾生产制造工艺的复杂程度,尽量使真空炉的设计安全、可靠、合理、经济、适用。
该真空炉主要由炉体、炉门、保温体、加热体、真空系统、电源部分、控制及测量部分,炉门拖动机构以及支撑部件等几部分组成。本文优化设计主要围绕真空炉的两个主要部分炉体和炉门来进行的。炉门由接口法兰、门板、预紧机构等组成,炉门的开启和关闭依靠一小车牵引,由于炉门的热负荷不算太大,因此采用在门板上直接焊接三个壁形成矩形冷却水道通水进行冷却。炉体和炉门之际采用中空“O"型圈密封,本文主要考虑在真空水冷状态下壳体、门板的强度,炉体和炉门问的密封问题,以及这些法兰接口对真空炉应力所产生的影响。此外还有考虑炉门开启、关闭、锁紧的灵活简便,测量元件、电极的引入、冷却水出入口等的位置和数量等等,这些不在本文研究之列。
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