真空炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件表面不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用於高质量﹑高纯度﹑难熔金属的熔炼和加热﹐例如用於钨﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐热合金钢的冶炼和磁性材料﹐电工材料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。
真空炉出现於20世纪30年代前后。1927年美国製成电工材料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业上已用於熔炼海绵鈦。50年代前后真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年美国研製成油淬真空炉。
真空炉一般由炉膛﹑电热装置﹑密封炉壳﹑真空系统﹑供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质﹐炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位於密封炉壳内。根据炉子用途﹐炉膛内部装有不同类型的加热元件﹐如电阻﹑感应线圈﹑电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩堝﹐有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵﹑真空阀门和真空计等组成。
真空炉按加热元件分为真空电阻炉﹑真空感应炉﹑真空电弧炉﹑真空自耗电弧炉﹑电子束炉(又称电子轰击炉)和等离子炉等。
真空淬火炉停炉后,炉内需保持在66.5LPA以下的真空度。
炉内有灰尘或不干净时,应用酒精或汽油浸湿过的绸布擦拭干净并使其干燥。
炉体上的密封结构,真空系统等零部件拆装时,应用酒精或汽油清洗干净并经过干燥后,涂上真空油脂再组装上。
真空淬火炉炉子外表面经常擦拭,操持清洁干净。
零件及零件车需清洗干燥后方可进入炉内,防止水分、污物进入炉内。
各传动件发现卡位、限位不准,控制失灵等现象时,应立即排队,不要强操作,以免损坏机件。铝板点焊机机械传动件应定期加油或换油保养。
真空泵,阀门,测量仪器,热工仪表,电气元件等配套件,均按产品的技术说明予以维修和保养。
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