多用途高温真空炉的研制

 多用途高温真空炉的研制

　针对热离子燃料元件制造工艺和设备的要求,结合高温真空钎焊炉和真空退火炉的结构,自行研制了多用途钽片高温真空炉,它可以用于真空退火、高温除气、高温真空钎焊等多种工艺用途。该炉主要技术参数为:极限温度2000℃;极限真空度7×10-5Pa;热态工作真空度约10-4Pa;有效加热均温区尺寸ф80mmЧ600mm;均温区温度偏差≤±5.6℃,1600℃以上测量;控温方式手动和自动控温,可随意转换;自动控温误差≤0.3%;真空系统为无油真空系统;抽空时间到7×10-4Pa,≤20min;额定功率20kW。具有工作温度和真空度高、抽空迅速、无油蒸气污染、热惯性小、炉温均匀、控温准确、操作简便、安全可靠的特点。该炉设计为单室、立式、顶装料、内热式、电阻加热真空炉,钽发热体,金属屏隔热结构。这种型式的真空炉热惯性小,工作温度高,但是结构和控制较复杂,制造安装精度要求高,调试难度大。整套设备主要包括真空炉壳、发热体和金属隔热屏、真空系统以及电气控制系统等几部分。