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多室连续式真空炉的真空系统和预热室、高温工作室
多室连续式真空炉的真空系统和预热室、高温工作室
1、真空系统
预热室、高温工作室、冷却室均由K2600型高真空油扩散泵、2X270型旋片式机械泵组成,真空度高,工作真空度可达1023Pa量级;进料室、出料室由ZJP2600型罗茨泵、H2150型滑阀泵组成,抽气速度快,由大气压抽至1021Pa量级时间少于15min。真空阀门采用气动挡板阀。真空测量采用数字显示复合真空计,用电离规管测量高真空,电阻规管测量低真空。
2、预热室、高温工作室
预热室由不锈钢加热室壳体、不锈钢反射屏、镍铬合金带加热器、硅酸铝纤维毡、陶瓷绝缘件、水冷铜电极等组成。使用温度为500℃～800℃,控温采用镍铬镍硅S型热电偶。高温工作室由不锈钢加热室壳体、耐热钢或钼片反射屏、钼带或石墨棒加热器、硅酸铝纤维毡、陶瓷绝缘件、水冷电极等组成。工作温度为800℃～1250℃,分三区独立加热,控温采用铂铑铂S型热电偶。加热系统具有升温速度快、保温效果好、控温精确、节能等优点。
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